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與傳統(tǒng)光柵相比,尤其是在非傍軸情況下,超光柵具有優(yōu)勢(shì)。在此示例中,我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)將入射光束分成3x3光束的二維(2D)超光柵。超光柵由圓形納米柱構(gòu)成,并且在VirtualLab Fusion中,我們使用FMM / RCWA評(píng)估超光柵的衍射效率。 并且,我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。 dGrm1w 6_w;dnVA qL03iV#h*V @zHTKi` 設(shè)計(jì)任務(wù) {U,q!<@mq @]EJbiGv 3]iBX`Ni Yc*Ex-s 僅位相透射設(shè)計(jì)(IFTA) }8W5m(Zq9n }gr6naz YlY3C *:*Kdt`'G 僅位相透射設(shè)計(jì)(IFTA) 'z=QV
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