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6'Q{xJe? 摘要 !?P8[K >@2<^&K` &u>dKf)5 PILpWhjL$9 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測(cè)量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。 Z =+Z96 ^K?-+ 建模任務(wù) :wC\IwG~CE }=-0DSLVj PK[mf\G\ su%(!XJQpg 觀測(cè)傾斜平面 *dw.=a9 tMxde+$y }>@\I^Xm, p) 8S]p] 觀測(cè)柱面 (7Z+
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