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摘要 PIB|&I|p V{ra,a* 與傳統(tǒng)光柵相比,尤其是在非傍軸情況下,超光柵具有優(yōu)勢。在此示例中,我們設(shè)計了一個將入射光束分成3x3光束的二維(2D)超光柵。超光柵由圓形納米柱構(gòu)成,并且在VirtualLab Fusion中,我們使用FMM / RCWA評估超光柵的衍射效率。 并且,我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。 [UR+G8X21m _
CXKJ]m4 MvL%*("4b 8T$:^HW 設(shè)計任務(wù) JWlH(-U4| >`'#4!}G5j %jqBYn0q' X[h=UlF 僅位相透射設(shè)計(IFTA) :}UWy?F 5(u7b A{y3yH`#h XOJ/$y 僅位相透射設(shè)計(IFTA) F@"Xd9q? H,:Cg:E/^ s-k~_C>Fw y !47!Dn 超表面晶胞分析 R4E0avt j05ahquI vb{&T< $J=9$.4" 構(gòu)建超光柵 HR.S.(t[_ [q9TTJ@2 D3;^!ln]D <LzN/I aJ 初始超表面設(shè)計的評估 jR}h3! (.<Gde# fG0rUi(8 ?u'JhZ 參數(shù)優(yōu)化 ,XI,B\eNk ,#gA(B# K )KE0/n s/`4]B;2U 優(yōu)化超光柵設(shè)計的評估 O 4l[4,` _GI [SzD
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