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    [分享]泰伯(TALBOT)光刻機(jī) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-02-07
    作為最著名的衍射效應(yīng)之一，泰伯(Talbot)效應(yīng)可以用于光刻技術(shù)中以制造周期性納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人，我們?cè)诹呅尉W(wǎng)格上構(gòu)造了一個(gè)圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。 特別是，由于光刻過(guò)程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們?cè)谑纠醒菔玖巳绾螢?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=VirtualLab',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。 -)tu$W*  
    4yH=dl4=44  
    圓錐形相位掩模的Talbot圖像 dSb|hA}@  
    WoiK _Ud  
    在VirtualLab Fusion中對(duì)帶有圓錐體的相位掩模版進(jìn)行了建模。檢測(cè)到不同的Talbot圖像，以使柱形圖案位于主像平面中，而孔圖案出現(xiàn)在次像平面中。 _azg 0.)  
     1v4(  
    用于光柵仿真的非偏振光–實(shí)例討論 M"]~}*  
    #U NTD4   
    示范了在VirtualLab Fusion的光柵仿真建模中，如何以兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值建模非偏振光的影響。 5"5D(  
    V(Ps6jR"BS  
     %Y` @>P'  
    有什么問(wèn)題可以添加微信交流~ 451r!U1Z  
    j#b?P=|l  
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