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    [分享]利用衍射擴(kuò)散器使準(zhǔn)分子激光光束均勻化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-01-11
    本案例介紹利用衍射擴(kuò)散器使準(zhǔn)分子激光光束均勻化，通過(guò)優(yōu)化擴(kuò)散器以生成一個(gè)圓形的top hat。 R$A%Zh6  
    =1(7T.t  
    關(guān)鍵詞：衍射光學(xué)，衍射光學(xué)元件，均勻（homogenization），擴(kuò)散器，準(zhǔn)分子激光，部分相干 Gm9  
    v^F00@2I  
    所需工具箱：Starter Toolbox Premium I|>.&nb  
    E?bv<L,"  
    相關(guān)Tutorials：HSL.1, DO.2 C&%NO;Ole  
    ja/wI'J<  
    建模任務(wù) J=(i0A  
    衍射擴(kuò)散傳輸器                          目標(biāo)平面 }|N88PN  
    .J&89I]U  
    quC$<Y  
              準(zhǔn)分子激光                聚焦透鏡（f=20mm）                強(qiáng)度分布     5K682+^5  
    'irwecd8  
    Bt5 P][<  
    照射光束參數(shù) vWrTB   
    :hW(2=%  
    ·光源面尺寸：100×100um e6tU8`z  
    ·發(fā)散角（HWHM）：0.89×0.89° f7!48,(fB  
    ·空間相干長(zhǎng)度：3×3 um 2EN}"Du]mj  
    ·波長(zhǎng)：351nm ADB)-!$xoi  
    ycki0&n3  
    P?c V d2Y  
    衍射發(fā)散器 U 0~BcFpD  
    F9r/ M"5  
    %6^nb'l'C  
    ·取樣間隔：5um Tz.okCo]z  
    ·尺寸：640×640um <exyd6iI  
    ·相位階數(shù)：8 iC^91!<  
    [cZ/)tm  
    發(fā)散傳輸器相位 HINk&)FC  
    c&wiTvRV  
    載入光路徑圖 w^ofH-R/  
    4}cxSl]jf!  
    Y8IC4:EO  
    `,/5skeJ  
    Y}s6__  
    ·載入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。 Dd/]?4  
    < .e4  
    · 該文件在本案例VL_Samples文件夾中。 x%goyXK  
    %hZX XpuO  
    高斯型面光源 +oO7UWs>6  
    TgDT  
    O'#;Ge/,  
     ^-mW