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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-01-11
    鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運行中（Parameter Run）進行分析。 ev #/v:$?  
    27i-B\r  
    關鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運行（Parameter Run） GkxQEL  
    O=eU38n:5u  
    所需工具：Grating Toolbox Basic mPF<2:)wv  
    e,xJ%f  
    相關Tutorials：G.001; G.014 G6}!PEwM  
    建模任務 `z`=!1  
    EERCb%M 8Z  
    理想平面波照射 'C=(?H)M  
    ![!,i\x  
    1LaJ hrp?  
    a ]:xsJ~  
    _%3p&1ld  
    c'XSs  
    鍍膜傾斜光柵 i%GiWanG  
    目標平面 2%v6h  
    guVuO  
    周期：10um 1Vkb}A,'  
    厚度：10um )gz]F_  
    傾斜角度：20度 >(_2'c*[w  
    qu.AJ*  
    光柵的參數(shù) G5|'uKz2"  
    1h|qxYO  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質 <I*N=;7  
    V*r/0|vd  
    —填充因子                           2—后面的介質 *ZV3]ig2$  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 /l$fQ:l  
    —光柵厚度 @#*{* S8  
    )Y&B63]B  
    k%8kt4\wn6  
    <>(