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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-01-11
    鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 v"k ? e  
    _E C7r>V&  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） 5P!ZGbG  
    pJHdY)Cz  
    所需工具：Grating Toolbox Basic *tqD:hiF  
    <=.6Z*x+  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 l U/Xi  
    建模任務(wù) +#Pb@^6"m  
     /a1uG]Mt  
    理想平面波照射 )> ZT{eF  
    $s7U |F,I  
    %~Yo{4mHs  
    DTezG':  
    ^Q8yb*MN  
    dmF=8nff  
    鍍膜傾斜光柵 +f/ I>9G  
    目標(biāo)平面 ?|5M'o|9  
    f;'*((  
    周期：10um \IL)~5d  
    厚度：10um ~5P9^`KNH  
    傾斜角度：20度 K#OL/2^ 5  
    ~@'wqGTp  
    光柵的參數(shù) yj:@Fg-3g  
    nah?V" ?Y  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) m*y&z'e\  
    x1 |/  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì) 0|AgmW_7 .  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 }g