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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-12-26

通過(guò)從光學(xué)分析模型文件中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫(xiě)可由光學(xué)分析軟件讀取的宏文件來(lái)與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫(xiě)的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型，以納入機(jī)械干擾的影響。這些干擾可能是表面運(yùn)動(dòng)和形狀變化，集成的OPD或折射率分布。


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