建模目的:如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合,以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵,并進(jìn)行近場分析和內(nèi)部場分析 j}fSz)`i 工具箱:光柵工具箱 =&DuQvN, 關(guān)鍵詞:矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 ln6=XDu 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù): ^_W] @m2 圖1:光柵參數(shù)示意圖 s
E;2;2u"
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 \pP1k.~UnC
tOo\s&j 1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) GBT219Z@8 (1)
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圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 !lM.1gTTC
2) 雙擊 ,進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。