建模目的：如何將矩形光柵界面和轉變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合，以構建復雜結構光柵，并進行近場分析和內部場分析 o8z)nOTO; 工具箱：光柵工具箱 f z}?*vPW 關鍵詞：矩形光柵界面 轉變點列界面 近場分析 內部場分析 |LmSWy*7 組合光柵結構參數(shù)： G7-!`-Nk 圖1：光柵參數(shù)示意圖 P`"mM?u
使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 9 y~ "|t
<KQ(c`KW7 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) [uR/ M (1)
?C Y1]d (2)
'fY9a(Xt. (3) [e e30ELn
圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟1)示意圖 NK/4OAt%
2) 雙擊
，進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結構與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 T PYDs+U
N:W9}, 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟2)示意圖 4| Ui?.4=
3) 進入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉變點列界面(Transition Point List Interface)以構建矩形組合光柵。 8;n_TMb
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(2) sN/+
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟3)示意圖 N.hzKq][
4) 點擊
，進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結構參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 Zdn! qyR`
YYUe)j{T 圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟4)示意圖
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