光學(xué)自由曲面因其豐富的自由度而面臨檢測(cè)困境，干涉檢測(cè)法具有高精度非接觸式特點(diǎn)，但傳統(tǒng)干涉儀中靜態(tài)補(bǔ)償器難以實(shí)現(xiàn)自由曲面加工過程中未知面形不斷變化的原位檢測(cè)。因此，可編程控制的大動(dòng)態(tài)范圍自適應(yīng)補(bǔ)償器成為近年來自由曲面干涉檢測(cè)中的研究熱點(diǎn)。結(jié)合課題組在自由曲面自適應(yīng)干涉檢測(cè)領(lǐng)域的工作，介紹了光學(xué)自由曲面自適應(yīng)干涉檢測(cè)的最新研究進(jìn)展，詳細(xì)分析了基于可變形鏡和空間光調(diào)制器的自適應(yīng)干涉檢測(cè)技術(shù)，介紹了針對(duì)干涉圖目標(biāo)的自適應(yīng)控制算法，總結(jié)了兩大類自適應(yīng)檢測(cè)方法的優(yōu)點(diǎn)以及發(fā)展瓶頸，并對(duì)未來自由曲面的自適應(yīng)檢測(cè)技術(shù)提出了展望。
