切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 10686閱讀
    • 80回復(fù)

    [分享]極紫外投影光刻光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

    		 上一主題 下一主題
    離線gangzi0801
     
    發(fā)帖
    1063
    光幣
    13749
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-12-06
    摘要：極紫外光刻(EUVL)是半導(dǎo)體工業(yè)實現(xiàn)32～16nm技術(shù)節(jié)點的候選技術(shù)，而極紫外曝光光學(xué)系統(tǒng)是EUVL的核心部件，它主要由照明系統(tǒng)和微縮投影物鏡組成。本文介紹了國內(nèi)外現(xiàn)有的EUVL實驗樣機(jī)及其系統(tǒng)參數(shù)特性；總結(jié)了EUVL光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計原則，分別綜述了EUVL投影光學(xué)系統(tǒng)和照明光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計要求；描述了EUVL投影曝光系統(tǒng)及照明系統(tǒng)的設(shè)計方法；重點討論了適用于22nm節(jié)點的EUVL非球面六鏡投影光學(xué)系統(tǒng)，指出了改善EUVL照明均勻性的方法。 Q8NX)R  
    dG{A~Z z  
    關(guān)鍵詞：極紫外光刻；投影光學(xué)系統(tǒng)；照明光學(xué)系統(tǒng)；光學(xué)設(shè)計
    附件設(shè)置隱藏，需要回復(fù)后才能看到
    本主題包含附件，請 登錄 后查看, 或者 注冊 成為會員
    共2條評分 ，光幣+11
    mang2004 光幣 +6 - 2021-01-10
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-12-06
     
    分享到
    離線zszp
    發(fā)帖
    5
    光幣
    3
    光券
    0
    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-12-06
    感興趣 頂頂頂
    離線zszp
    發(fā)帖
    5
    光幣
    3
    光券
    0
    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-12-06
    回 zszp 的帖子
    zszp:感興趣 頂頂頂 (2020-12-06 14:57)  g#bRT*,L  
    @dK Tx#gZ  
    樓主 RAR 文件下載下來無法打開
    發(fā)帖
    1051
    光幣
    3362
    光券
    0
    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-12-06
    謝謝分享。
    發(fā)帖
    1051
    光幣
    3362
    光券
    0
    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-12-06
    回 zszp 的帖子
    zszp:樓主 RAR 文件下載下來無法打開  (2020-12-06 14:59)  kiEa<-]  
    2y4bwi  
    我下載了，壓縮文件能正常解壓呀，是不是你的網(wǎng)絡(luò)有問題，傳輸錯誤了。
    離線mang2004
    發(fā)帖
    2406
    光幣
    11238
    光券
    0
    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-12-07
    謝謝分享
    離線optifdtd
    發(fā)帖
    645
    光幣
    14373
    光券
    0
    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-12-07
    學(xué)習(xí)一下。。。。。。
    離線optifdtd
    發(fā)帖
    645
    光幣
    14373
    光券
    0
    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-12-07
    不錯的論文。。。。。。
    離線opmeman
    發(fā)帖
    220
    光幣
    24
    光券
    0
    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-12-07
    學(xué)習(xí)下光科技術(shù)哈
    離線legendlyy
    發(fā)帖
    1614
    光幣
    7020
    光券
    0
    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2020-12-07
    謝謝分享