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    [分享]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴格分析與優(yōu)化 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-30
    案例190（3.0） PYOU=R%o`8  
     6m=FWw3y  
    該應用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 F"#8`Ps>  
     <c,/+ lQ^  
    1. 建模任務 -G!W6$Y  
     #/UlW  
    zF%'~S0{  
    2. 建模任務:介質(zhì)參數(shù) qtqTLl@u  
    ~If{`zWoC  
    4 ^=qc99  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) W7j-siWJ  
     j.'Rm%@u  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： Hy?+p{{G  
     Fj0a+r,h!  
    1. 圓柱的水平間距：250nm e)(m0m\  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm gwf *M3(  
    3. 列距：125nm fn!(cE|`E  
     nE~HcxE/  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)：