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案例190(3.0)
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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 MXa(Oi2Gg Ys@OgdS@: 1. 建模任務(wù) r
"uQ| /UG]hJ-wn ,_M 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) k
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