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VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 ~Q=^YZgn8 T'N/A9{q 很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有: 4*UKR!sr ,ZnL38GW 干涉儀 *4l6+#W 光譜儀&單色儀 T\Jm=+]c! 表面計量系統(tǒng) SWNT}{x] ^n\g, VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時間和空間相干性為特點。VirtualLab的場追跡引擎進行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 <V#]3$(S vQ{mEaH 4c.!^EiV
"b`3 vnX~OVz2 VirtualLab Fusion軟件的特性: 5g
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