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- 注冊時間2020-06-19
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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) ^1nf|Xj[ 應(yīng)用示例簡述 -0Q!:5EC 1. 系統(tǒng)說明 S_WY91r 光源 ![V<vIy — 氙氣燈(部分相干白光) ^wHO!$ 組件 :@3d — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 Wx-{F 探測器 Aqc( — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) >\i{,F=U7 建模/設(shè)計(jì) @Ab<I — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 cN :;ir — 幾何場追跡Plus(GFT+): Fd91Y 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 E7D^6G&i 掃描樣品的高度輪廓時光強(qiáng)會發(fā)生變化 dy0!Zz (;M"'.C 2. 系統(tǒng)說明 CkflEmfe 參考光路 )a6i8b3 8<G@s`* 3. 建模/設(shè)計(jì)結(jié)果 yZ P+
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