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    [分享]白光邁克爾遜干涉儀的仿真 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-20
    測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) ~9Z h,p ;  
    應(yīng)用示例簡述 +7,8w  
    1. 系統(tǒng)說明 o^3FL||P#r  
    光源 \)ip>{WG  
    — 氙氣燈(部分相干白光) ev9; Ld  
     組件 JnfqXbE  
    — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 ,4[dLWU  
     探測器 3sH\1)Zz  
    — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) a:85L!~:l  
     建模/設(shè)計 Q"40#RFA  
    光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 9A~>`.y  
    — 幾何場追跡Plus(GFT+): GL1'Zo  
     部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 kw*)/$5]  
     掃描樣品的高度輪廓時光強(qiáng)會發(fā)生變化 P?kx  
    &5?G-mn  
    2. 系統(tǒng)說明 }g~g50ci  
    參考光路 X0`j-*,FX  
    3UdU"d[75  
    3. 建模/設(shè)計結(jié)果 Q]@c&*