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UID:317649
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- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2025-01-10
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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) ~9Zh,p; 應(yīng)用示例簡述 +7,8w 1. 系統(tǒng)說明 o^3FL||P#r 光源 \)ip>{WG — 氙氣燈(部分相干白光) ev9;Ld 組件 JnfqXbE — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 ,4[dLWU 探測器 3sH\1)Zz — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) a:85L!~:l 建模/設(shè)計 Q"40#RFA — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 9A~>`.y — 幾何場追跡Plus(GFT+): GL1'Zo 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 kw*)/$5] 掃描樣品的高度輪廓時光強(qiáng)會發(fā)生變化 P?kx &5?G-mn 2. 系統(tǒng)說明 }g~g50ci 參考光路 X0`j-*,FX 3UdU"d[75 3. 建模/設(shè)計結(jié)果 Q]@c&*
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