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    [分享]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-18
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） erv94acq  
    @gqZiFM)  
    應用案例概述     @}PXBU   
    AEM;ZQU  
    系統(tǒng)細節(jié) aZo}Ix:/  
    dHAT($QG  
    光源 D HQxu4  
    – 綠光二極管 B T}l"  
    元件 #oiU|>3Y  
    – 雙軸振鏡掃描儀 Q "NZE  
    – F-Theta物鏡 Y>C0 5?>  
    探測器 QSzht$ 8  
    – 場曲和畸變探測器 h$sOJs~6h  
    – 光束強度剖面探測器 2oc18#iG (  
    – 焦點區(qū)域探測器 )sQ/$gJ  
    – 光束參數(shù)探測器 =!DX,S7