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    [分享]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-18
    激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) B+zq!+ HJ  
    vU{ZB^+&6o  
    應(yīng)用案例概述
    oH6(Lq'q  
    (nBJ,v)  
    系統(tǒng)細節(jié) .fo.mC@a  
    ,Hys9I  
    光源 >Cd%tIie*  
    – 綠光二極管 pVbX#3  
    元件 G-"#3{~2  
    – 雙軸振鏡掃描儀 lzS"NHs<g(  
    – F-Theta物鏡 H7qda' %>  
    探測器 `;cKN)Xk  
    – 場曲和畸變探測器 =N7N=xY  
    – 光束強度剖面探測器 LfgR[!  
    – 焦點區(qū)域探測器 ^o?.Rph|i]  
    – 光束參數(shù)探測器 ]BAF  
    模擬/設(shè)計