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激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) B+zq!+ HJ vU{ZB^+&6o 應(yīng)用案例概述 oH6(Lq'q (nBJ,v) 系統(tǒng)細節(jié) .fo.mC@a ,Hys9I 光源 >Cd%tIie* – 綠光二極管 pVbX#3 元件 G-"#3{~2 – 雙軸振鏡掃描儀 lzS"NHs<g( – F-Theta物鏡 H7qda'%> 探測器 `;cKN)Xk – 場曲和畸變探測器 =N7N=xY – 光束強度剖面探測器 LfgR[! – 焦點區(qū)域探測器 ^o?.Rph|i] – 光束參數(shù)探測器 ]BAF 模擬/設(shè)計
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