ASML中國展示DUV光刻機(jī)：可生產(chǎn)7nm

近日，ASML此次也帶來了其整體光刻解決方案，包括先進(jìn)控制能力的光刻機(jī)臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術(shù)。ASML中國區(qū)總裁沈波接受媒體采訪時表示，該公司對向中國出口集成電路光刻機(jī)持開放態(tài)度，對全球客戶均一視同仁，在法律法規(guī)框架下，都將全力支持。 bWzc=03  
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沈波透露，自30年前進(jìn)入中國市場以來，ASML已提供了全面的技術(shù)和能力來滿足中國客戶的需求。在遵守法律法規(guī)的同時，ASML全力支持客戶和中國集成電路行業(yè)的發(fā)展。 tm#y`1-  
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被問及有沒有向中國出口EUV光刻機(jī)的打算，EUV光刻機(jī)還在等荷蘭政府的出口許可證。ASML必須要在遵守法律法規(guī)的前提下進(jìn)行光刻機(jī)出口。“但我們對向中國出口光刻機(jī)是保持很開放態(tài)度的，我們對全球客戶都一視同仁，只要是我們能夠提供的技術(shù)和設(shè)備，我們都會全力支持�！� F4l6PGxF&\  
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據(jù)了解，目前，市場上光刻機(jī)主要分為兩種，一種是DUV光源，另外一種是EUV光源。后者相比前者精度更高，但價格也更貴，而且目前全球只有荷蘭ASML有能力生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，而且一年產(chǎn)量還很有限。EUV光刻機(jī)售價在1.12億歐元左右，約合人民幣將近10億。而DUV光刻機(jī)價值則是在6億左右，便宜了40%。