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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 Xm# +Z`|N  
    k;cIEEdZD  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 5@RcAQb:  
    #e.x]v:  
    2|"D\N  
    %f CkR`:  
    亮點(diǎn) B*:I-5  
    f@`|2wG  
     *SJ[~  
    v{$?Ow T/u  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） `Hw][qy#  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 -~c-mt  
     考慮入射光的方向分布 Z'A 3\f   
    &yP|t":HWX  
    說明：光源 *ELU">!}G  
    KC"S0 6  
    |fyzb=Lg  
    xbi\KT`~  
    說明：光束分束器 1>[#./@  
    H*G(`Zl}  
    ; o'>`=Y  
    P84YriLo  
    說明：檢測透鏡系統(tǒng) "'t f]s  
    rV\G/)xL  
    ,8zJD&HMx  
    FI: