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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 ,^3D"Tky  
    Wrlmo'31  
    任務(wù)/系統(tǒng)說(shuō)明 X'5te0v`3  
    4):\,>%pK  
    -V\33cA  
    5d)G30  
    亮點(diǎn) OS3J,f}<=  
    9QpKB c  
     p7z#4 GW  
    ]fR 3f  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） 2oN lQiE_  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 ukN#>e+L1  
     考慮入射光的方向分布 6D$xG"c  
    twJck~l~n  
    說(shuō)明：光源 Axr 'zc  
    P)T:6K  
    5K8\hoW{  
    i'a M#4V  
    說(shuō)明：光束分束器 CxO) d7c  
    XOxm<3gXn  
    wc;5tb#  
    <4Ak$ E %"  
    說(shuō)明：檢測(cè)透鏡系統(tǒng) f6DPah#  
    3T_-_5[c  
    nkpQM$FW  
    ]^s4NXf+  
    說(shuō)明：微型晶片 f1JvP\I0Q  
    a+MC[aFr  
    <{'':/tXI  
    Rq;R{a  
    說(shuō)明：檢測(cè)物鏡 p{.EFa>H  
    %bddR;c  
    #ujcT%1G  
    ,O2Uj3"  
    說(shuō)明：探測(cè)器 .[~E}O  
    nuvz!<5\{  
    uu(.,11`  
    py)V7*CgH  
    結(jié)果：3D光線追跡（只有0級(jí)） ,"DkMK4%  
    L-Z1Xs  
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