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1. 摘要 qGk.7wf% jHFjd' 亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 JQV%W+-@ .z>/A/&+ 2. ·建模任務(wù) C/k#gLF` O[ma% E*0 sL$sj|"
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