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摘要 C==yl"w ~jR4%VF 掃描干涉法是實(shí)現(xiàn)表面高度測(cè)量的技術(shù)。通過(guò)利用白色光源的低相干性,只有當(dāng)光程差在相干長(zhǎng)度內(nèi),干涉圖案才會(huì)出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測(cè)量成為可能。使用一個(gè)氙燈搭建了一個(gè)邁克耳孫干涉儀,用于測(cè)量具有平滑變化前表面的樣品。 teKx^ 'c' CBr(a'3{Z akA7))Q 2z9s$tp 建模任務(wù) #PkZi(k
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