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    [分享]超高精度面形干涉檢測技術進展 [復制鏈接]

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    離線ka2012
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-09-14
    關鍵詞： 精度面形干涉
    深紫外、極紫外光刻、先進光源等現(xiàn)代光學工程牽引驅動超精密光學技術持續(xù)發(fā)展，超精密光學制造要求與之精度相匹配的超高精度檢測技術。作為核心技術指標之一的面形精度通常要求達到納米、深亞納米甚至幾十皮米量級，超高精度面形干涉檢測技術挑戰(zhàn)技術極限，具有重要研究意義和應用價值。本文分析了面形干涉檢測技術發(fā)展趨勢，主要介紹了中國科學院光電技術研究所近年來在超高精度面形干涉檢測技術相關研究進展。
    附件: 超高精度面形干涉檢測技術進展.rar (2192 K) 下載次數(shù):20 ，售價:2光幣[記錄]
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    200833 光幣 +5 - 2020-09-14
     
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    離線200833
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-09-14
    謝謝你的分享。
    離線寶妮
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-11-14
    感謝分享~