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摘要 /Y'Vh^9/T ~nrK>% 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 MFb9H{LA
 BsEF'h'Owh 1. 本案例主要說(shuō)明： !Cr(P e] 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過(guò)： %@.v2 cT - 基于介質(zhì)的定義類型 Y8o)FVcyNy - 基于表面的定義類型 Fxm$9(Y 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 E=>FjCsu<- 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 <-[wd.M_
=>M^02" 2. 光柵工具箱初始化 * g 6n 初始化 {buo^kgj`] - 開(kāi)始→ ;
mZW{j 光柵→ cUY`97bn 一般光柵光路圖(3D光柵) rNB _W.
K2J \awX
 ~} ,=OF-b 注意：對(duì)于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 N7O-2Z * |NpP2|4h 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 BDR.AZ 首先，必須先定義基底的厚度與材料 8$0rR5 5 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個(gè)所謂的堆棧進(jìn)行定義 *XT/KxLa7 堆�？梢愿綄僭诨椎囊粋�(cè)或兩側(cè)。 tE)suU5Y 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。 T~Gvp0r}h  wS%Q<uK 基于介質(zhì)的定義類型 R )mu2 ^ (例如：柱狀光柵) =5kY6%E7c 1. 堆棧編輯器 A1.7 O 在堆棧編輯器中，可以從庫(kù)中增加和插入界面和介質(zhì)。
w-Da~[J 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個(gè)平面界面作為邊界。 )XYv}U pKit~A,Q
 J/[=p<I)
0l-Ef 1 兩個(gè)平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。 4:r!|PJn{G 通過(guò)使用后者，可以非常有效地描述復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、 .=X}cJ]`[  `/ EGyN6X +f@U6Vv 2. 柱狀光柵介質(zhì) ,u`B<heoLU 在庫(kù)目錄“LightTrans Defined”中，在柱狀介質(zhì)庫(kù)中可以找到鉻柱。 Mf&{7 % 這種類型的介質(zhì)可以模擬柱狀結(jié)構(gòu)以及襯底上的銷孔。 z7Q?D^miy
 MLRK74D 在本例中，由鉻組成的矩形柱位于熔融石英基底上
">y%iE 在堆棧編輯器的視圖中，不同的材料根據(jù)折射率(深色意味著更高)用其他顏色表示。 T>R0T{A 注意:堆棧編輯器總是提供x-z平面的橫斷面視圖。 Kfh| 請(qǐng)注意:界面的順序總是從基板的表面開(kāi)始計(jì)算。 \}p6v
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