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    [推薦]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-07-17
    摘要 HCkfw+gaV  
    x)N QRd  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應。 Ahbh,U  
    oC} u  
    }CZw'fhVWO  
    A)j!Wgs^z  
    建模任務 L^Q;M,.c;  
    a9 q:e  
    5`:d$rv  
    X<$DNRN  
    入射平面波 Bxw(pACf  
    波長 2.08 nm yZm=#.f  
    光斑直徑: 3mm <s\ZqL$ f  
    沿x方向線偏振 z%T|L[(6  
    $`%Om WW{  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析? 3O Ks?i3A  
    如何計算包含矢量效應的焦點的強度分布? 1tI=Dw x  
    yH43Yo#Rk  
    概覽 l\Ww^   
    •樣品系統(tǒng)預設為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 '3sySsD&O  
    •接下來,我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 .m\0<8C  
     h 7l>(3  
       xs