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摘要 :c\NBKHv* #(7OvW+y 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 yfU1;MI
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%Z .!Bm: 建模任務(wù) >+1bTt/-F
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 @8 pRI S"V tIg_cY_y 入射平面波 Uc/%4Gx 波長 2.08 nm Fax73vl|^a 光斑直徑： 3mm !({[ ^[! 沿x方向線偏振 3KqylC &. m~}nM
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