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摘要 !R*-R.% hYQ_45Z*? 對于許多應用來說(例如背光、光學連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導結構中是一個重要的問題。對于這些應用,傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中,介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次,優(yōu)化的光柵展示出超過90%的衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 th6+2&B6 kc7lc|'z =#mTfJ ]zO/A4 設計任務 .nYUL> s5RjIa0$7 x^"ES%* >7!6nF3x, 1級參數(shù)優(yōu)化 <I}2k *. 3N=EO \#68;)+= g}p;\o
結果-容差分析 /(O$(35 K^_i%~ [1
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