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摘要 5|T[:m g43j-[j) 在激光掃描系統(tǒng)中,F(xiàn)-Theta鏡頭通常被設(shè)計(jì)用于提供高性能。使用此類透鏡,在目標(biāo)平面上的聚焦點(diǎn)位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下,通過測量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小,分析了給定F-Theta透鏡的性能。 Dt1v`T~=? N^G
$:GC j41)X'MgJ ,r$k79TI 建模任務(wù) hxwo<wEg 4CUoXs'
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