[原創(chuàng)]如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機成像系統(tǒng)） [復制鏈接]

如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機系統(tǒng)） `L(AvSR  
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在光刻應用中，所使用的光源不是完全相干的，如何在晶片上分析部分相干成像系統(tǒng)中的掩模? f:k3j}&  
在這里給大家分享一個案例， 希望可以幫到大家。     7@MGs2  
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這里是一步一步的如何在ZEMAX 中操作：https://sot.com.sg/coherent-imaging/ # E'g{.N  
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這里是案例的ZEMAX 文件： 備注： 我用的ZEMAX 是20年版本， 如果您版本過低，可能無法正常打開， 請諒解！ @L%9NqE`O  
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