摘要：為了在保證結(jié)構(gòu)簡單的前提下，實現(xiàn)衍射光柵精密測量系統(tǒng)的大量程、高精度、多維度測量，設計了能夠同時測量位移和角度的五維自由度衍射光柵精密測量系統(tǒng)�；诶亓_對稱式光路結(jié)構(gòu)，采用高刻線密度的一維衍射光柵以及外差干涉原理實現(xiàn)了沿光柵矢量方向和光柵法線方向的二維位移測量；通過引入高精度的位置靈敏探測器，結(jié)合±1級衍射光與光柵之間的角度變化關(guān)系實現(xiàn)了對光柵俯仰、偏擺和滾轉(zhuǎn)三個維度的角度誤差測量。實驗結(jié)果表明：該衍射光柵精密測量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)分辨力優(yōu)于4 nm的二維位移測量以及分辨力優(yōu)于1″的三維角度測量，其位移測量范圍只受限于光柵的尺寸，量程大大增加。該衍射光柵精密測量系統(tǒng)在精密測量領(lǐng)域有重要意義。 Po%+ :0oX
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關(guān)鍵詞：衍射光柵；精密測量；五維自由度
