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    [分享]簡(jiǎn)述光刻機(jī)投影物鏡的幾種減振方案 [復(fù)制鏈接]

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    離線gangzi0801
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-05-02
    關(guān)鍵詞： 光刻機(jī)投影物鏡
    摘要：振動(dòng)是影響光刻機(jī)投影物鏡動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素，決定了投影光刻機(jī)的主要性能。簡(jiǎn)述了消除或抑制投影物鏡振動(dòng)的兩種方案，即一體式主動(dòng)減振方案和采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的柔性支撐兩級(jí)主動(dòng)減振方案。通過(guò)在實(shí)際中應(yīng)用表明，后一種減振方案可以實(shí)現(xiàn)亞微米甚至納米級(jí)的定位精度及穩(wěn)定性。 ;hV-*;>  
    kgb:<{pJ  
    關(guān)鍵詞：光刻機(jī)；投影物鏡；壓電陶瓷；主動(dòng)減振
    附件: 簡(jiǎn)述光刻機(jī)投影物鏡的幾種減振方案.rar (681 K) 下載次數(shù):25 ，售價(jià):2光幣[記錄](méi)
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    mang2004 光幣 +6 - 2020-05-06
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-05-02
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-05-22
    機(jī)械減震嗎
    離線王教主
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2023-03-14
    機(jī)械減震嗎
    離線fangyongyong
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 01-10
    好東西