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    [分享]簡述光刻機投影物鏡的幾種減振方案 [復制鏈接]

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    離線gangzi0801
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-05-02
    摘要：振動是影響光刻機投影物鏡動態(tài)穩(wěn)定性的關鍵因素，決定了投影光刻機的主要性能。簡述了消除或抑制投影物鏡振動的兩種方案，即一體式主動減振方案和采用壓電陶瓷驅動的柔性支撐兩級主動減振方案。通過在實際中應用表明，后一種減振方案可以實現亞微米甚至納米級的定位精度及穩(wěn)定性。 $Q*R/MY  
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    關鍵詞：光刻機；投影物鏡；壓電陶瓷；主動減振
    附件: 簡述光刻機投影物鏡的幾種減振方案.rar (681 K) 下載次數:25 ，售價:2光幣[記錄]
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    mang2004 光幣 +6 - 2020-05-06
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-05-02
     
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    離線wmh1985
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-05-22
    機械減震嗎
    離線王教主
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2023-03-14
    機械減震嗎
    離線fangyongyong
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 01-10
    好東西