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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) e'A_4;~@s 應(yīng)用示例簡述 ?D _4KFr
1. 系統(tǒng)說明 RU7+$Z0K 光源 ?.Vuet — 氙氣燈(部分相干白光) /y{ : N 組件 9dNkKMc@ — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測樣品 EQ,`6UT> 探測器 0*b8?e — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) 7HH@7vpJ^ 建模/設(shè)計 @ i! +Z — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 7>y]uT@ar — 幾何場追跡Plus(GFT+)： 4"kc( J`c 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 )VkVZf | S 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 ocWl]h]. e}yF2|0FD 2. 系統(tǒng)說明 ,$:u^;V( 參考光路 eLPtdP5k 
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36ZLP 4. 總結(jié) 5X)QW5A 邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案的研究以及作為高度掃描裝置的應(yīng)用 hGY-d}npAJ 1. 仿真 }.)R#hG ? 以光線追跡對干涉儀仿真。 M?sax +' 2. 計算 x )dLY .'| 采用幾何場追跡Plus引擎以計算干涉圖樣。 8QJr!#u 3. 研究 _lk
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