摘要：針對(duì)大
口徑離軸
非球面系統(tǒng)加工與裝調(diào)的難點(diǎn)，提出了非球面
光學(xué)系統(tǒng)共
基準(zhǔn)加工與檢測(cè)的方法，對(duì)該方法的基本
原理和實(shí)現(xiàn)過(guò)程進(jìn)行了分析和研究。當(dāng)
光學(xué)系統(tǒng)的主鏡和第三鏡面形的RMS值優(yōu)于λ/10（λ=632.8 nm）時(shí)，對(duì)主鏡和第三鏡進(jìn)行共基準(zhǔn)裝調(diào)和測(cè)試，并進(jìn)行背板一體化裝嵌，然后利用離子束對(duì)其進(jìn)行一體化共基準(zhǔn)加工。結(jié)合
工程實(shí)例，對(duì)一大口徑非球面系統(tǒng)口徑為724 mm×247 mm的非球面主鏡和口徑為632mm×205 mm的第三鏡進(jìn)行了共基準(zhǔn)加工與檢測(cè)，最終利用離子束共基準(zhǔn)一體化精
拋光得到主鏡和第三鏡面形的RMS值分別為0.019λ和0.017λ，滿足光學(xué)
成像。
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