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摘要 X)Zc*9XA SR_<3WW Zo`_vx/{j YpJJ]Rszg 干涉測(cè)量法是一項(xiàng)用于光學(xué)測(cè)量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測(cè)量。作為一個(gè)典型示例,在非序列場(chǎng)追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對(duì)干涉條紋圖的影響。
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Ua5w cY]BtJ# 由于組件傾斜引起的干涉條紋 Z2a~1BL /#}o19(-d @B\$
me V9Pw\K!w#\ 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 z94#:jPmG t#d{hEr L.2!Q3& 0@yw#.j 文件信息 twMDEw#VL 18,;2Sr44 = IJ}b=: #$X _,+<HZ 7bk`u'0% E5q
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