摘要
qDswFs( sCy.i/y 
o/
\o -kC} p=[dt 干涉測量法是一項用于
光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機械和熱變形的高
精度測量。作為一個典型示例，在非
序列場追跡技術(shù)的幫助下，于
VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-澤德
干涉儀。該例證明了
光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
#q34>}O< O 6C .!+km 建模任務(wù)
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|af<2(d ZHA&gdK@ 由于組件傾斜引起的干涉條紋
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