摘要
Pp6(7j kf>oZ*/ ~%B^`s E=3<F_3W 干涉測量法是一項用于
光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機械和熱變形的高
精度測量。作為一個典型示例,在非
序列場追跡技術(shù)的幫助下,于
VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-澤德
干涉儀。該例證明了
光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
1p<m>s=D=e I8)x0)Lx 建模任務(wù)
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"/}0fx |[;9$Vn 由于組件傾斜引起的干涉條紋
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KL<d] 由于偏移傾斜引起的干涉條紋
Q-_&5/G \m~?mg"# (4LXoNT YN#i^( 文件信息
eYMp@Cx T$)&8"Xya SZW`|ajH *Fb]lM7D 更多閱讀
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Laser Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration %{WS7(si -
Fizeau Interferometer for Optical Testing
~oy=2Q<Z $014/IB (來源:訊技光電)