摘要：
超光滑表面制造技術是超精密加工技術的一個重要分支。通過介紹超光滑表面的特征、應用及其制造技 術的發(fā)展，希望給出超光滑表面技術的整體輪廓。在介紹超光滑表面的概念及其主要特征的基礎上，通過典型例證指 出了超光滑表面在軟X射線
光學、
激光陀螺等科技領域的重要應用�；仡櫫顺饣砻嬷圃旒夹g的發(fā)展過程，對各種 超光滑表面加工
原理與方法進行了簡單描述與評價，最后提出了對超光滑表面制造技術的發(fā)展趨勢的觀點。
@L p;p$G` H(MCY3t 關鍵詞：超精密加工；超光滑表面；
拋光；粗糙度
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