摘要：
超光滑表面制造技術(shù)是超精密加工技術(shù)的一個重要分支。通過介紹超光滑表面的特征、應(yīng)用及其制造技 術(shù)的發(fā)展，希望給出超光滑表面技術(shù)的整體輪廓。在介紹超光滑表面的概念及其主要特征的基礎(chǔ)上，通過典型例證指 出了超光滑表面在軟X射線
光學(xué)、
激光陀螺等科技領(lǐng)域的重要應(yīng)用�；仡櫫顺饣砻嬷圃旒夹g(shù)的發(fā)展過程，對各種 超光滑表面加工
原理與方法進(jìn)行了簡單描述與評價，最后提出了對超光滑表面制造技術(shù)的發(fā)展趨勢的觀點。
(6-y+ LG ^srs$
w] 關(guān)鍵詞：超精密加工；超光滑表面；
拋光；粗糙度
