摘要：光譜橢偏測量技術(shù)已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、微電子、物理化學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。在光譜橢偏測量系統(tǒng)中，由 于起偏器和檢偏器存在漏光等瑕疵，光源子系統(tǒng)的偏振度和光譜儀子系統(tǒng)的偏振敏感度會(huì)影響光譜橢偏系統(tǒng)的測量精 度。針對(duì)這一問題，本文建立了光譜橢偏測量系統(tǒng)的偏振相關(guān)系數(shù)的修正模型；并提出了一種同時(shí)測量光源子系統(tǒng)和 光譜儀子系統(tǒng)偏振相關(guān)系數(shù)的方法。利用現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的寬帶光源系統(tǒng)和寬帶光譜儀驗(yàn)證了這種測量方法的可行性。 5 s7BUT
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關(guān)鍵詞：測量；光源；光譜儀；光譜橢偏儀；偏振相關(guān)系數(shù)
