摘要：本文提出了一種改良的檢測方法用于實現(xiàn)對超大口徑凸非球面反射鏡進行高精度的面形檢測。該方法利用計算機再現(xiàn)全息和照明透鏡混合補償，實現(xiàn)對超大口徑凸非球面的高精度檢測。首先，對該方法的基本原理進行了分析和研究；然后，以一塊口徑為800 mm的超大口徑凸非球面為例，進行了子孔徑規(guī)劃和檢測光路中相關光學元件的設計；最后，以中心子孔徑為例，系統(tǒng)分析了該檢測裝置的敏感度。仿真實驗結果表明：計算全息補償器的設計殘差均方根值小于0.001 3 nm，該檢測系統(tǒng)的綜合檢測精度可以優(yōu)于6 nm RMS。結果表明該檢測系統(tǒng)滿足超大口徑凸非球面反射鏡高精度面形檢測的要求。 rF\L}& Sw
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關鍵詞 ： 面形檢測；非球面；像差補償；衍射光學元件
