摘要：針對目前已有的
光學(xué)檢測
設(shè)備無法實(shí)現(xiàn)大
口徑大
曲率半徑
光學(xué)元件高
精度檢測的問題，提出利用長程輪廓儀（ LTP）來進(jìn)行大口徑大曲率半徑（正、負(fù)）光學(xué)元件的精確測量，并通過實(shí)驗(yàn)證明了LTP檢測大曲率半徑光學(xué)元件的優(yōu) 勢。分析計(jì)算LTP測量曲率半徑的算法精度，設(shè)計(jì)了合理的
機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)測量，得到了全口徑的曲率半徑分布。 最后與球徑儀、刀口儀的測量結(jié)果進(jìn)行了對比。對R=37.108m和R=41.065m的球面鏡測量結(jié)果顯示， LTP的測量 重復(fù)性在0.05%以內(nèi)，與球徑儀、刀口儀的測量值相差均在0.05%以內(nèi)。研究結(jié)果表明，LTP可以用來解決目前幾十米 的大R曲率半徑光學(xué)元件難以高精度測量的難題。
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