概述
X>B/DT 一個理想的單色點
光源發(fā)射的光是完全相干光。但實際物理光源不是點源,總是具有一定的空間尺度并包含眾多輻射單元,其發(fā)出的光也非嚴格的單色光,其
光譜具有一定寬度,這種光即部分相干光。產(chǎn)生部分相干光主要有三種方法:
?nn,RBS- EXi+pm (1)降低
激光的相干性來獲得部分相干光。用動態(tài)散射體降低激光的相干性,通過控制散射體的性質(zhì)來控制散射體后
光束的相干性。(2)利用Van-Citter-Zernike定理使擴展光源發(fā)出的非相干光成為部分相干光。(3)將一些互不相干的激光本征模疊加來產(chǎn)生部分相干光束。
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系統(tǒng)描述
:Oj+Tc9A G?g7G,|d 本例介紹了如何上述第二種方法來實現(xiàn)部分相干光的建模。如圖1所示,整體結(jié)構(gòu)是一個科勒
照明系統(tǒng)。一個聚光元件將非相干光源傳遞到轉(zhuǎn)像
透鏡的入瞳處。非相干光源照亮物體掩膜面,并在最后的像面上得到適當放大的像。為了對光束合理采樣,光源放在物體掩膜的共軛面處,以便光源具有一定的尺寸,而不是理想點光源。對于具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。當光源大到可以填滿轉(zhuǎn)像透鏡入瞳時,其所成的像就將是非相干的。
~iSW^mi R.QcXz?d 3_>1j 圖1.部分相干光建模示意圖 GhT7:_r~
部分相干光的建模過程為:將光源看作無數(shù)的點光源,每個點光源通過系統(tǒng)
成像,并在成像面上進行非相干疊加。因為點光源發(fā)出的
光線要通過整個系統(tǒng),所以點光源的數(shù)目一定要盡量小。一個完整的相干系統(tǒng)只需要一個點光源,而部分相干系統(tǒng)可能需要10個,而非相干系統(tǒng)差不多要求50個。
.`p_vS9 PLyu1{1"z 模擬結(jié)果
",+uvJT1O 9..k/cH 圖1.object mask的初始分布
K|/a]I": 圖2.完全相干時點光源在轉(zhuǎn)像透鏡入瞳處所成的像
圖3.完全相干時object mask所成的像
圖4.部分相干時點光源在轉(zhuǎn)像透鏡入瞳處所成的像
圖5.部分相干時object mask所成的像
圖6.完全不相干時點光源在轉(zhuǎn)像透鏡入瞳處所成的像
圖7.完全不相干時object mask所成的像
WWLVy( (來源:訊技光電)