摘要：為瞬態(tài)測量大口徑光學(xué)元件波前，提出一種基于斜入射結(jié)構(gòu)的近紅外反射式錯位點衍射干涉原理的 Φ400 mm 瞬態(tài)波前檢測方法。該方案將待測光分成兩束互相錯位的參考光與測試光，從而在干涉圖中引入高線性載頻，采集到 對比度良好的干涉圖后，利用傅里葉變換相位解調(diào)法從單幅干涉圖中提取待測波前相位，實現(xiàn)瞬態(tài)波前動態(tài)測量。實 驗光路總長近 20 m，極易受氣流的影響，且由于氣流干擾隨時間變化，該系統(tǒng)本身可以看作是大口徑光學(xué)元件瞬態(tài) 波前發(fā)生與檢測裝置。測試結(jié)果與 SID4 波前傳感器比較，波前均方根（RMS）小于 1/50 λ，可知所提方法可以實現(xiàn) 大口徑瞬態(tài)波前的高分辨率與高精度檢測。 4( 8tr D6
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關(guān)鍵詞：光學(xué)測量；點衍射干涉儀；大口徑；瞬態(tài)波前
