摘 要
1j${,>4tQ ]yj4~_&O 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見的
光學(xué)計(jì)量
設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高
精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索
干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。
+O.&64( [9YlLL@ {WM& 建模任務(wù)
MA/"UV&M( 7Ap~7)z[ b]tA2~e q N[\J7Pz9 傾斜平面下的觀測(cè)條紋
q>(I*=7 84hi, S5P s)o,Fi V1CSXY\2 圓柱面下的觀測(cè)條紋
_!$Up !~w6"%2+7 PJSDY1T _x,-d|9bd 球面下的觀測(cè)條紋
Ht=6P) rlUdAa3 `ykMh>*{ +