摘要
4]"w b5% eJf>"IF- ~x+Ykq0 對于許多
光學應用來說需要減少表面反射。控制表面反射的一種非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結構,啟發(fā)來源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長范圍特征尺寸的結構表現(xiàn)出關于波長和角度依賴性的獨特性質。在本文中,介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結構的分析和設計。
-><QFJ LD@7(?mlU 設計任務
n8FT<pUq JFJIls s*{mT6s+T K50t%yu#T] 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結構的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
c9|a$^I6 )=(n/vckM 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
[0{wA9g ;siJ~|6) `Of[{.Q ,#
iZS& 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
U$@83?O{iM b60[({A\s& 9C1b^^Kb 5)x6Q|-u 最終設計#1的性能分析
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