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大型光學(xué)表面納米精度制造
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大型光學(xué)表面納米精度制造
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gangzi0801
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納米
精度
光學(xué)制造
摘要:
納米
精度
光學(xué)
表面在光刻技術(shù)、同步輻射、空間觀測(cè)和慣約聚變等領(lǐng)域有重大需求。隨著裝備 性能需求的不斷提升,這些
光學(xué)
系統(tǒng)
對(duì)光學(xué)零件面形精度和表面質(zhì)量的要求幾乎接近于
物理
極限,對(duì)光學(xué)制 造技術(shù)提出了更高挑戰(zhàn),使
光學(xué)制造
成為納米制造技術(shù)的發(fā)展前沿。通過(guò)攻克納米量級(jí)
材料
去除的穩(wěn)定性、 復(fù)雜
曲面
可控補(bǔ)償和裝備運(yùn)動(dòng)軸性能設(shè)計(jì)等關(guān)鍵問(wèn)題,掌握了以磁流變和離子束
拋光
技術(shù)為代表的可控柔 體拋光技術(shù),利用自主研發(fā)的拋光制造裝備和
工藝
實(shí)現(xiàn)了典型光學(xué)零件的納米精度制造,為國(guó)家相關(guān)科技項(xiàng) 目的順利實(shí)施提供有力的制造技術(shù)支撐。
@*5(KIeeC>
eIt<da<G?
關(guān)鍵詞:納米精度制造;光學(xué)制造;可控柔體拋光;磁流變拋光;離子束拋光
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zhangyuqian1
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發(fā)表于: 2019-04-24
打不開(kāi)顯示數(shù)據(jù)損壞怎么回事?
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sima
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發(fā)表于: 2019-04-26
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danmozuji
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5樓
發(fā)表于: 2019-05-05
好的光學(xué)系統(tǒng)還得機(jī)械保證啊
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墨莊
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發(fā)表于: 2019-05-24
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l小飛
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