五棱鏡有1秒精度的商品,主要影響來自45度角的誤差。如果不用五棱鏡的話,可以用氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)承載分光鏡,首先左右光管對準(zhǔn),然后放上五棱鏡,在它的上面放置第三個(gè)光管。在度盤0度時(shí)三管對準(zhǔn),度盤180分別在右面和上面的光管看到分光鏡的誤差。分光鏡的兩塊直角鏡的折射率應(yīng)當(dāng)一致,大于3*10^-5,給出射光線帶來誤差,此外膠合應(yīng)力和膠層均勻性也會(huì)影響。這些在干涉儀上可以看到,如果可能的話,可以在zygo上調(diào)整系統(tǒng)。